消息称台积电今明两年将接收超 60 台 EUV 光刻机，相关投资超四千亿新台币

电脑系统网 7 月 1 日信息，据台媒《工商时报》报导，台积电将于 2024~2025 年接受超 60 台 EUV 光刻机，并且未来五年在 EUV 光刻机方面的投入将超 4000 亿台币（电脑系统网备注名称：现阶段约 896.61 亿人民币）。

报导表明，ASML 的 EUV 光刻机现阶段供应紧张，从下单到交付的总体周期时间已超 16~20 个月。

台积电未来五年分别下发约 30 和 35 台 EUV 光刻机订单信息，这种订单信息中的大部分将在 2026 年起交付。

台媒引用供应链管理消息指出，ASML 对 2025 年产能力的计划是 20 台 High-NA EUV 光刻机、90 台 EUV 光刻机和 600 台 DUV 光刻机。

▲ ASML 现阶段最前沿的 0.33NA EUV 光刻机 NXE:3800E

依据台积电官方网路线地图，其目前已经整体规划最工艺技术 16A 将在 2026 年量产，仍使用传统 0.33NA EUV 光刻机。也就是说，台积电尚未选择在量产制造中导进 High-NA。

尽管 ASML 层面已确定将于 2024 年内向型台积电交付 High-NA EUV 光刻机，但这一机器设备仅限于制造开发设计目地。

台媒还表示，台积电暂时没有在 2025~2026 年引进量产用 High-NA EUV 光刻机的计划。

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